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雅科貝思力矩電機(jī):半導(dǎo)體硅片清洗工藝的關(guān)鍵驅(qū)動(dòng)力
時(shí)間:2024-06-26 點(diǎn)擊次數(shù):461次 來源:泰道精密機(jī)電微信公眾號

晶圓清洗設(shè)備:

    隨著半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展,對芯片成品率、品質(zhì)及可靠性的要求也越來越高。在半導(dǎo)體硅片制造過程中,清洗工序作為影響這些關(guān)鍵因素的重要環(huán)節(jié),其技術(shù)水平的提升顯得尤為關(guān)鍵。在晶圓清洗設(shè)備中,電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)晶圓高速旋轉(zhuǎn)的核心部件,其性能的好壞直接關(guān)系到清洗效果和芯片質(zhì)量。

雅科貝思的力矩電機(jī)解決方案

    1. 高防護(hù)等級:力矩電機(jī)采用高防護(hù)等級設(shè)計(jì),能夠有效抵御腐蝕性液體和氣體的侵蝕,確保電機(jī)在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定運(yùn)行。

    2. 大中孔設(shè)計(jì),便于客戶線纜以及氣路的設(shè)計(jì)。

    3. 優(yōu)化的鐵芯設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)更小的齒槽扭矩,實(shí)現(xiàn)更小的速度波動(dòng)。

    4.高速切換速度可達(dá)2500RPM。這種能力能夠確保晶圓在清洗過程中實(shí)現(xiàn)快速而均勻的旋轉(zhuǎn),提高清洗效果。

    在特定環(huán)境,同時(shí)對某些性能指標(biāo)要求不高的運(yùn)動(dòng)場景中,雅科貝思會為客戶定制更匹配、更具性價(jià)比的力矩電機(jī)解決方案,以滿足半導(dǎo)體行業(yè)對電機(jī)性能的高要求。

    雅科貝思的力矩電機(jī)能夠在惡劣環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,提高清洗效果和芯片質(zhì)量。未來,隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,力矩電機(jī)將在晶圓清洗設(shè)備中發(fā)揮更加重要的作用。


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